制作霍爾元件的小知識，看過來
為了提高霍爾元件的穩(wěn)定性和可靠性，在制備過程中，需要對其進(jìn)行鈍化。傳統(tǒng)的鈍化工藝，一般采用PECVD方法生長S12或Si3N4來進(jìn)行鈍化。在鈍化過程中，等離子體會對材料表面產(chǎn)生損傷，從而導(dǎo)致?lián)p傷部位產(chǎn)生缺陷，缺陷會導(dǎo)致電子傳輸?shù)牟痪鶆?，從而引起不平衡電壓增大。另一方面，這些缺陷會隨著溫度及電場等外部條件的變化而變化，嚴(yán)重影響霍爾元件的穩(wěn)定性和可靠性下降，不利于霍爾元件的長期使用。
對于半導(dǎo)體突變異質(zhì)結(jié)，由于導(dǎo)帶底能量突變量的存在，則在界面附近出現(xiàn)有“尖峰”和“凹口”；實(shí)際上，對異質(zhì)結(jié)中導(dǎo)帶電子的作用而言，該“尖峰”也就是電子的勢皇，“凹口”也就是電子的勢阱，如果“凹口”的勢阱足夠大，則其中的電子只能在勢阱中沿著平面的各個方向運(yùn)動，即為二維運(yùn)動的電子，形成二維電子氣。
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