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制作霍爾元件的小知識(shí)，看過(guò)來(lái)

返回列表 來(lái)源：未知 瀏覽： 發(fā)布日期：2019-12-21 13:42:06【大 中 小】
隨著霍爾元件在生活中的應(yīng)用越來(lái)越普及，那么制造霍爾元件這一行業(yè)技術(shù)也越來(lái)越提高了，小編在這里為大家介紹一些制造霍爾元件的小知識(shí)。

為了提高霍爾元件的穩(wěn)定性和可靠性，在制備過(guò)程中，需要對(duì)其進(jìn)行鈍化。傳統(tǒng)的鈍化工藝，一般采用PECVD方法生長(zhǎng)S12或Si3N4來(lái)進(jìn)行鈍化。在鈍化過(guò)程中，等離子體會(huì)對(duì)材料表面產(chǎn)生損傷，從而導(dǎo)致?lián)p傷部位產(chǎn)生缺陷，缺陷會(huì)導(dǎo)致電子傳輸?shù)牟痪鶆?，從而引起不平衡電壓增大。另一方面，這些缺陷會(huì)隨著溫度及電場(chǎng)等外部條件的變化而變化，嚴(yán)重影響霍爾元件的穩(wěn)定性和可靠性下降，不利于霍爾元件的長(zhǎng)期使用。
對(duì)于半導(dǎo)體突變異質(zhì)結(jié)，由于導(dǎo)帶底能量突變量的存在，則在界面附近出現(xiàn)有“尖峰”和“凹口”；實(shí)際上，對(duì)異質(zhì)結(jié)中導(dǎo)帶電子的作用而言，該“尖峰”也就是電子的勢(shì)皇，“凹口”也就是電子的勢(shì)阱，如果“凹口”的勢(shì)阱足夠大，則其中的電子只能在勢(shì)阱中沿著平面的各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，即為二維運(yùn)動(dòng)的電子，形成二維電子氣。